半导体行业

具体应用：

化学分析

终点检测

等离子体监测

过程监控

利用光谱学监控半导体生产过程

我们与一家半导体过程控制设备的全球供应商合作，将海洋光学小巧、坚固的光谱仪集成到该供应商的刻蚀监测系统中。我们提供的高分辨率、热稳定性优异的光谱仪可为用户提供准确、可靠的工艺偏差反馈，有助于减少误差，提高生产效率。

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在本白皮书中，我们介绍了将光谱仪集成到客户系统中的步骤，从而在时间和温度变化的情况下获得可靠、高分辨率的结果。这一点非常重要，部分原因是光谱波长漂移会产生测量误差，而这些误差会传导到客户用于控制关键工艺的算法建模中。